Calibration Board and Chart

Custom Glass Photolithography Calibration Plate

客製玻璃感光塗層標定板

 
最小線寬 20μm，圖案幾乎無反射，OD>5
白底＋感光塗層
鉻＋感光塗層
感光塗層
正面 / 背面

可依需求配置正反面圖案與塗層結構，用於視覺定位、幾何校正、對位標定等應用。

低反射特性

全光波段反射率可控制在 <5%（接近無反射），降低雜散光影響。

技術參數

圖案 基材
製作工藝 黃光工藝 玻璃基材 蘇打玻璃
最小線寬 20 μm 熱膨脹係數
(15–200°C)		 <100×10
特徵精度 ±2 μm 透過率
(400–700nm)		 >90%
塗層類型 感光塗層 鉻＋
感光塗層		 白 PE＋
感光塗層		 膨脹率 0.00085%
(8.5μm/°C of 1M)
反射率 < 3.89% @550nm < 4.88% @540nm < 4.68% @550nm 表面平整度 <10μm（外形長度 <100mm）
< 4.08% @650nm < 4.99% @640nm < 4.72% @650nm
< 3.67% @750nm < 4.16% @740nm < 4.164% @750nm
塗層厚度 0.06mm（±0.01mm） 0.04mm（±0.01mm） 0.12mm（±0.01mm） 厚度 1mm（±0.3mm） 1.6mm（±0.3mm） 3.2mm（±0.3mm） / 4mm（±0.3mm） / 4.8mm（±0.3mm）
光密度 OD
@550nm		 >5 >4.2 >3 最小 / 最大尺寸 MIN：3×3mm（±0.1mm）
MAX：1.5×2.6m（±0.1mm）
哑光 /
反光塗層		 哑光 哑光 哑光 洛氏硬度 3–3.5 HRA
反射 /
投射類型		 透射式 透射式 反射式 表面品質 Scratch/Dig 40-20
正負圖形 正片：圖案著色
負片：圖案干淨		 表面粗糙度 <0.2–0.7μm
保護塗層 可選擇 切割 激光切割任意外形（±0.01mm）
最小可打 3mm 孔
 

玻璃感光塗層製作工藝

1
基材
玻璃基材＋感光塗層
2
曝光
搭配光掩膜進行曝光
3
剝離 / 清洗
去除多餘塗層並清洗
4
檢查
外觀與圖案品質檢測
5
完成
成品出貨 / 交付

不同感光塗層在玻璃上的反射率

全光波段反射率 < 5%（幾乎無反射）
感光塗層
鉻＋感光塗層
白底＋感光塗層
圖表座標：橫軸為波長（nm），縱軸為反射率（%）。

感光塗層玻璃實拍圖

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