PRODUCTS
矽光子量子效率量測
微米尺度光電二極體強度反應測試機台
- 特點
- 矽光子量子效率量測
介紹
機台特色
- 支持多種波長光源，適用於60μm微小晶片的感光反應測試。
- 多達8種波段選擇（包括1550nm、1310nm等），並提供波段升級服務。
- 具備手動與自動對焦功能，量測過程同步攝影機監控。
- 樣品可控溫，溫度範圍從常溫至90°C。
波色科技
微米尺度光電二極體強度反應測試的專業解決方案
機台規格
- 波段選擇：1550nm、1310nm、940nm、850nm、650nm等，支持8種波段。
- 光源功率：10~20mW，全波段支持0.1mW間隔調整。
- 樣品尺寸：250μm面積，60μm收光區，厚度100~350μm。
- 支援晶圓尺寸：2~4英寸，或單片晶片。
實際機台照片
圖1：整體機台設計，外部封裝與內部模組化結構。
內部架構
圖2：內部核心模組，包括雷射、樣品台和探針控制器。
測試數據示例
圖3：光功率與晶片輸出電流之間的線性關係，斜率反映量測效率。
光路架構圖
圖4：完整的光路架構設計，涵蓋多波段雷射與樣品測試流程。
軟體功能
- 支持輸出光功率（mW）、晶片輸出電流（mA）及其他數據。
- 多點測試功能，可程式編輯功率範圍，自動分析斜率（Slope）、電流點及功率點。
- 數據結果可分別存檔，支持格式化導出以供後續分析。