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3D形貌
表面形貌檢測技術
- 特點
- 非接觸式、高精度三維形貌量測
- 廣視場與高效率掃描能力
- 兼容多種材料與表面條件
- 豐富的形貌與表面特徵分析功能
- 模組化軟硬體與開放性擴充接口
- 高穩定性設計與抗振能力
- 應用廣泛,涵蓋多領域需求
表面形貌檢測技術平台
Color Confocal 單點厚度與翹曲量測技術

- 適用於玻璃與矽基材
- 厚度量測範圍達 0.7mm
- 量測精度 < 2μm,重複性 < 2μm
- 可用於多點厚度分佈與翹曲檢測


波色科技 3D 資料分析技術



非接觸 3D 形貌重建技術
- 同時可分析亮面與霧面樣品
- 可進行高精度尺寸分析
- 可量測多層結構厚度
- 可評估標面平整度與裝配公差


