3D形貌

表面形貌檢測技術

特點
非接觸式、高精度三維形貌量測
廣視場與高效率掃描能力
兼容多種材料與表面條件
豐富的形貌與表面特徵分析功能
模組化軟硬體與開放性擴充接口
高穩定性設計與抗振能力
應用廣泛,涵蓋多領域需求

表面形貌檢測技術平台

Color Confocal 單點厚度與翹曲量測技術

Color Confocal 技術原理
  • 適用於玻璃與矽基材
  • 厚度量測範圍達 0.7mm
  • 量測精度 < 2μm,重複性 < 2μm
  • 可用於多點厚度分佈與翹曲檢測
Wafer 厚度地圖 3D 翹曲分佈圖

波色科技 3D 資料分析技術

點雲資料處理 3D 資料重建處理 CAD 檔案比對

非接觸 3D 形貌重建技術

  • 同時可分析亮面與霧面樣品
  • 可進行高精度尺寸分析
  • 可量測多層結構厚度
  • 可評估標面平整度與裝配公差
手機玻璃厚度疊層量測 Glass on Glass Glass on Plastic
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